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全自動晶圓探針台SKD3000

全自動晶圓探針台SKD3000是一款用於8/12inch LSI（大規模集成電路）和VLSI（超大規模集成電路）晶圓測試的探針台。

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產品描述

概述：

全自動晶圓探針台SKD3000是一款用於8/12inch LSI（大規模集成電路）和VLSI（超大規模集成電路）晶圓測試的探針台。

 

優點特點：

1、高精度探針台測試主體的X/Y軸的絕對定位精度可達±2μm；

2、高剛性Z/θ軸能實現Chuck長時間穩定測試；

3、提供自動上料功能，擁有探針與Pad自動對位功能。採用獨立的光學系統使探針卡上所有的針尖能夠自動精準地扎在相應的Pad上；

4、設備參數和運行狀態信息等數據可以自由發送或接收到硬盤和外部計算機系統，方便實時查看和追溯分析。

 

參數規格：

序號 項目 內容 備註
1 機台尺寸及重量 尺寸（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 重量 約2.2T  
3 晶圓尺寸規格 晶圓直徑 8"/12"  
4 晶圓厚度 150~2200μm  
5 厚度偏差 ≤±50μm  
6 Die尺寸 0.2~100mm  
7 測試方向 測試順序 X/Y方向連續探測  
8

θ

 可調節範圍 ±5°  
9 解像度 0.00007°  
10 X/Y軸 精度 ≤±2μm  
11 最大速度 250mm/s  
12 探測行程 ≥±160mm  
13 解像度 0.1μm  
14 Z軸 精度 ≤±2μm  
15 最大速度 50mm/s  
16 行程 ≥80mm  
17 解像度 0.1μm  
18 OD範圍 0~500μm  
19 Index Time 循環時間 230ms（6mm以內的Die Z升降0.5mm）  
20 預對準 精準度 角度≤±0.5°，中心位置≤0.2mm  
21 觸摸屏 規格 15Inch五線電阻式  
22 大電流測試 電流範圍 0~800A 選配
23 高壓測試 電壓範圍 0~3000V 選配
24 高低溫測試 溫度範圍 -60~200℃ 選配
25 控溫精度 ±0.1℃
26 溫度穩定性 0.1℃
27 溫度均勻性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%

 

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