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    SKD2000 全自動晶圓探針台

    適用：6inch、8inch,LSI(大規模集成電路)和VLSI(超大規模集成電路)等晶圓測試。

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    產品描述

    適用範圍：

    適用於6inch、8inch,LSI(大規模集成電路)和VLSI(超大規模集成電路)等晶圓測試。

     

    參數規格：

    序號 項目 內容 備註
    1 晶圓尺寸規格 晶圓直徑 6/8寸  
    2 晶圓厚度 150~1000μm  
    3 厚度偏差 ≤+50μm  
    4 Die尺寸 0.25~100mm  
    5 Index Time 循環時間 230ms(Die≤5mm)  
    6 X/Y軸 精度 ≤+2μm  
    7 最大速度 250mm/s  
    8 探測行程 ≥±120mm  
    9 解像度 0.1μm  
    10 Z軸 精度 ≤+2μm  
    11 最大速度 50mm/s  
    12 行程 ≥47mm  
    13 解像度 0.1μm  
    14 θ 可調節範圍 ±5°  
    15 解像度 0.00007°  
    16 廠務要求 電壓 AC 220V 50/60Hz  
    17 CDA 0.6~0.8MPa 管徑ф8  
    18 真空氣源 -80~-100KPa 管徑ф6  
    19 整機 尺寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
    20 重量 1500Kg  
    21 大電流測試 電流範圍 0~800A 選配
    22 高壓測試 電壓範圍 0~3000V 選配
    23 高低溫測試 溫度範圍 -60~200℃ 選配
    24 控溫精度 ±0.1℃
    25 溫度穩定性 0.1℃
    26 溫度均勻性

    ≤100℃時≤+0.5℃

    >100℃時<±0.5%

     

     

     

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