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    UM定位工作枱系列

    UM對位平台採用DXM無槽直線電機/及盤式DDR為動力，利用交叉滾子導軌與軸還做導向，內置高解像度光柵，實現XYO三軸聯動。是理想的測量儀器和檢測設備的定位機構，可用於諸如半導體/液晶相關製造設備和清潔環境下的圖象對準處理。

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    產品描述

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    UM定位工作枱系列介紹

     

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    X1A11-08

     

     

    UM120

     

     

    外形尺寸

     

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    技術參數

     

    參數 UM120-01X01YR-3
    X Y R
    峰值推力（扭矩） 80N 80N 2.0 N.m
    連續推力（扭矩） 15N 15N 0.4 N.m
    最大可搬運質量 5.9Kg 5.9Kg 6.8Kg
    有效行程（角度） 20mm 20mm 60°
    解像度 0.1um 0.1um 0.36角秒
    最大速度 400mm/s 400mm/s 400°/s
    重複定位精度 ±0.5um ±0.5um ±0.8角秒

     

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    X1B11-08

     

     

    UM200

     

     

    外形尺寸

     

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    技術參數

     

    參數 UM200-01X01YR-3
    X Y R
    峰值推力（扭矩） 400N 400N 4.0 N.m
    連續推力（扭矩） 70N 70N 1.2 N.m
    最大可搬運質量 30Kg 30Kg 12.3Kg
    有效行程（角度） 25mm 25mm 280°
    解像度 0.1um 0.1um 0.25角秒
    最大速度 400mm/s 400mm/s 270°/s
    重複定位精度 ±0.5um ±0.5um ±0.5角秒

     

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